200 mm 碳化硅衬底分出高端档：微管密度怎么读

资讯编辑 1502 2026-09-29 09:12:24

行业快讯 · 来源：中电网（原文：Wolfspeed 扩展 200 mm 碳化硅产品组合，推出全新 Premium 高端功率衬底）

中电网转述：Wolfspeed 的 Premium 档 200 mm n 型碳化硅衬底已开始商业供货。说法是换用更高品质的起始基材，靠减少缺陷、稳住晶圆片形来抬器件良率。器件往更高电压、更大裸片走之后，衬底一致性和片形会直接传到外延和芯片良率。

报道给出的可核对指标：经 X 射线形貌检测，微管密度低于 0.01 个/cm²（约合每片少于 3 个微管），贯穿螺型位错密度也更低，并称可以沿用客户现有外延工艺。对器件厂，衬底分档应写进来料：微管、位错和片形要跟外延后的良率对照，不能只留在材料说明里。

原文：https://news.eccn.com/news_2026092817475972.htm

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本稿为资讯摘要；微管、位错与供货状态以原文及材料规格书为准。

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